Конкретный поток процесса OLED-дисплеев на основе кремния можно разделить на пять частей, а именно процесс обратной платы (производство обратной платы драйвера), процесс осаждения паров, процесс упаковки, процесс экрана и процесс модуля:
(1) Изготовление задней панели драйвера: Задняя панель CMOS, необходимые для OLED на основе кремния, изготовлены с использованием полупроводниковых процессов, за которыми следуют использование физического осаждения пара, химического отложения паров, процессов воздействия и развития желтого света, процессов травления и других методов для создания слоев анодного отражения и слоев конфингированных слоев Anode.
(2) Процесс испарения: в основном включает в себя очистку субстрата, испарение органического материала и испарение катодного материала.
(3) Процесс упаковки: во-первых, упаковка OLED на основе кремния изготовлена с использованием оборудования PECVD и ALD; Затем, путем спинного покрытия органического цветового фильтра с желтым светом, три основных цвета (R, G, B), необходимые для производства OLED на основе кремния, выставлены и разработаны для завершения процесса раскраски.
(4) Технология экрана: в основном включает в себя резку и очистку больших кусочков экрана, а также шаги электрического и визуального осмотра. После прохождения проверки они хранятся на складе.
(5) Процесс модуля: через очистку, клейкую связь, резку, проверку внешнего вида, связывание, клеевое покрытие, проверка внешнего вида и тестирование созревают и упакованы для хранения после прохождения проверки.